ТУ 20.11.11-006-45905715-2017 (НИИ КМ), ТУ 6-21-12-94
Аргон (ВЧ) газообразный высокой чистоты применяется для создания инертной среды в производстве изделий электронной промышленности; при изготовлении ответственных изделий из активных и редких металлов; в метрологии, а также для других целей.
Требования к физико-химическим показателям
Объёмная доля аргона, % не менее 99,998,
Объёмная доля кислорода, % не более 0,0002,
Объёмная доля азота, % не более 0,001,
Объёмная доля двуокиси углерода, % не более 0,00003,
Объёмная доля метана, % не более 0,0001,
Объёмная доля водорода, % не более 0,0002,
Объёмная доля водяного пара, % не более,
что соответствует температуре насыщения аргона водяными парами при давлении 101,3 кПа (760 мм рт. ст.), °C не выше 0,0003 минус 61.